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以前固体器件开关尽管具有速度快、晃动小等优点,但由于技术与工艺水平的限制,不具备有电真空器件的大功率、耐高压、大电流驱动能力等特点,因而只能用于低压快脉冲源领域,随着半导体技术的发展,逐步出现了高压固体器件
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