项目背景
PECVD即借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
系统描述
利用研华嵌入式无风扇控制器UNO-2170，作为数据转换平台，收集由下位包括PLC，流量计中读取的信号，并通过研华EKI-2528传输到上位机进行监控。针对于系统问题，由研华将系统以及客户的相应工艺以及backoff的软件进行剪裁，保证了系统的稳定。
项目实施
系统架构图
研华PECVD系统解决方案架构图
客户现场图片
总结
研华在针对设备与产线自动化的解决方案中，通过研华嵌入式平台进行数据的整合和运行，研华开放式的硬件平台支持各种流行系统，同时针对客户需求对系统进行剪裁，保障系统的稳定性，同时UNO系列结构坚固耐用，适合任何关键和恶劣的环境使用，特有的无风扇设计解决了传统PC所面临的问题，更能保证几台设备稳定的运行。
